1.什么叫真空真空特点是什么？

2.嫃空区域的划分是怎样的其物理基础是什么？

3.简述气体和蒸汽的区别

4.何为物理吸附？何为化学吸附

5.说明机械泵的抽气原理。影响机械泵极限真空的因素有哪些

6.说明扩散泵的结构和原理。影响扩散泵极限真空的因素有哪些

7.说明分子泵的工作原理。

8.说明离子泵的结构、气体放电的过程、排气的原理

9.热导真空计测量真空的基础是什么？

10.说明电离真空计的结构和原理影响该真空计的测量下限是什么？洳何改善

11.与电离真空计比较BA规的结构有哪些改进？为什么能测量更低的真空压

12.简述真空系统漏气的静态判断的方法

13.什么叫压力检漏？試述了卤素检漏法的原理

14.叙述氦质谱检漏仪的原理、仪器结构、方法。

15.画出电磁阀的结构说明其工作原理及其用法。

16.说明图1的真空系統的使用规程

图1 RF溅射台真空抽气系统